激光測厚儀的校準精度要求需結(jié)合設(shè)備類型、測量范圍及行業(yè)規(guī)范綜合確定，通用標準下核心精度指標為±0.01mm至±0.5μm，特殊場景（如鋰電池極片生產(chǎn)）需達到±1μm以內(nèi)。具體要求如下：
一、通用校準精度要求
基礎(chǔ)精度范圍
多數(shù)激光測厚儀的校準精度在 ±0.01mm 至 ±0.1mm 之間，具體取決于測量范圍和傳感器類型。
例如：HW01-DG120型單點測厚儀在0-120mm范圍內(nèi)精度為0.1mm；接觸式測厚儀在1-10mm范圍內(nèi)精度≤±0.01mm。
行業(yè)規(guī)范參考
鋰電池生產(chǎn)：極片厚度均勻性要求±1μm至±3μm，在線測厚儀需達到 ±1μm以內(nèi) 的精度。
新能源領(lǐng)域：在線激光測厚儀校準規(guī)范中，標準厚度塊的不確定度為 U=0.2μm（k=2），示值誤差和重復(fù)性需滿足嚴格標準。
二、校準方法與精度保障
單點校準
使用與被測材料相同的校準基準塊，厚度應(yīng)等于或稍大于被測件厚度。
調(diào)整顯示值至基準塊厚度，確保單點測量精度。
雙點校準
使用兩塊材料、速度和曲率與被測材料相同的基準塊（或一塊具有兩種厚度的基準塊）。
薄基準塊厚度接近測量范圍下限，厚基準塊等于或稍大于最大厚度。
分別校準薄、厚基準塊，確保全量程精度。
在線校準規(guī)范
在激光測厚儀移動范圍內(nèi)選擇不少于5個均勻分布的測量位置進行校準。
考慮溫度偏差引入的測量不確定度，確保動態(tài)測量精度。
三、影響校準精度的因素
設(shè)備類型與傳感器
激光位移傳感器、激光測距傳感器等不同類型傳感器的精度差異顯著。
接觸式測厚儀在1-10mm范圍內(nèi)精度可達±0.01mm，非接觸式測厚儀精度可能稍低。
測量范圍
測量范圍越小，精度通常越高。例如：0-20mm范圍內(nèi)精度可達±0.03mm，而0-50mm范圍內(nèi)精度為±0.12mm。
環(huán)境條件
溫度、濕度、電磁場等環(huán)境因素可能影響測量結(jié)果，需在校準和測量過程中嚴格控制。
四、校準結(jié)果驗證
重復(fù)性測試
對同一基準塊進行多次測量，驗證結(jié)果的一致性。
重復(fù)性應(yīng)滿足行業(yè)規(guī)范要求（如鋰電池極片生產(chǎn)中需≤±1μm）。
不確定度評定
根據(jù)校準規(guī)范，評估測量結(jié)果的不確定度，確保符合精度要求。
例如：在線激光測厚儀校準規(guī)范中，標準厚度塊的不確定度為U=0.2μm（k=2）。
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